国内最大微纳传感器实验室落成 研发属于自己的“中国芯”

    近日，湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室，在湘潭大学正式落成。
　　据悉，该平台主要依托北京大学团队在碳基集成电路技术领域的先导性技术优势和体系完整的原创性技术，建设碳基纳米器件和新型传感器研究的国家创新中心和国内一流创新平台，基于该平台研发出属于我国自己的“中国芯”。
　　此次落成的核心实验室，即微纳传感器加工实验室，包括百级、千级、万级在内的超净室约 1500 平方米，和一批先进的微纳加工设备。超净室最主要的作用在于控制产品所接触大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产。
　　微纳制造技术作为 MEMS 传感器的实现手段，它直接决定了传感器的性能与制作成本，是传感器可产品化和批量化制造的前提。随着 MEMS 微纳制造技术的不断进步，MEMS 传感器在航空航天、生化医疗、食品安全等领域得到广泛的应用，特别是近几年来伴随着汽车电子产品和物联网的快速发展，市场对不同类型和功能的 MEMS 传感器需求量越来越大。
　　此外，为推动湖南先进传感与信息技术创新研究院建设，省科技厅将其列为了长株潭国家自主创新示范区重大标志性工程。目前，该研究院已开展了一系列工作，引进一批高端人才外。另外还与华为、京东方、旭海光电、中电集团等龙头企业接洽，准备在传感器应用方面开展产学研合作，把研究成果尽快推向市场。