近日，在浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（以下简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入，标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。

在上海就能生产28纳米芯片

作为上海市最大的集成电路产业投资项目，华力12英寸先进生产线总投资387亿元人民币，计划于2022年底建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线。

集成电路技术进步，一般用芯片集成度和微细加工精度两个指标来衡量。芯片集成度，指单一芯片中所含有的晶体管数量。晶圆尺寸从3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已发展到目前的12英寸，并且18英寸也开始处于研发阶段。从目前全球晶圆厂产能情况来看，12英寸生产线主要生产高性能产品，工艺技术更加先进，是目前的主流建设方向。行业知名咨询机构IC Insights（集成电路观察）分析认为，截至2016年底，300毫米（12英寸）晶圆占全球晶圆厂产能的63.6％，预计到2021年底将达到71.2％，其年均复合增长率为8.1％。

华力12英寸先进生产线工艺覆盖28—14纳米技术节点。目前，世界集成电路生产水平最高已达到7纳米，主流生产线的技术水平为28—14纳米，中国大陆集成电路企业生产工艺水平最高为28纳米。华虹集团此前已拥有一条全自动的12英寸芯片生产线，目前主要采取的是55—28纳米技术。相比第一条12英寸生产线，此次项目在技术工艺和产能两方面都有所提升。

“中国大陆28纳米芯片的产能非常少，未来4万片月产能建成后，我国28纳米芯片的产能将提升一倍。到时候，我们使用的高端芯片将有一部分来自国产，在上海就能生产28纳米芯片，这对于我国集成电路产业发展意义深远。”上海华力微电子有限公司总裁雷海波说，28纳米芯片的应用领域非常广泛，比如手机通信、物联网、人工智能领域的高端芯片。该项目主要从事逻辑芯片生产，在这一技术基础上，可以开发出射频、高压、嵌入式存储器类芯片等许多产品，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

大陆最先进的浸没式光刻机

此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为，用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，从而得到刻在硅片上的电路图。简单地说，就是将芯片设计的图形从掩模版上“转移”到涂在硅片表面的光刻胶上。

华力12英寸先进生产线建设项目首台工艺设备的搬入，标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地取得了阶段性胜利，这对上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》，同时对上海建设先进制造业的产业集群高地，打响“上海制造”品牌有着重要意义。未来五个月内，华虹六厂工艺设备将集中搬入，其中也包括一些国产设备，今年底前将完成生产线串线并实现试流片，预计月产能达到1万片。

进入全球集成电路产业阵营前列

“有点激动，也有点感动。”华虹集团党委书记、董事长张素心说，自2016年12月30日开工以来，广大建设者克服连绵阴雨、持续高温等不利因素，实施立体和错时施工。经过约一年半的努力，每天工作12小时以上，目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件，比原计划进度提前1个半月。

项目建成后，华虹集团将成为拥有覆盖从0.5微米到14纳米各工艺节点的大型集成电路制造产业集团，在产业规模和工艺技术上进入全球集成电路产业阵营的前列。该项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，是国家“910工程”的子项目之一，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程，并实现了当年立项当年开工。