中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备

2018/12/10 12:08:00

11月29日，由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目在成都通过验收，作为项目重要成果之一，中国科学家研制成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，并形成一条全新的纳米光学光刻工艺路线，具有完全自主知识产权。图为中科院光电所超分辨光刻装备项目副总设计师杨勇（左）介绍装备整机。

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